等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、活性基團、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等離子機就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面，電泳附著力有什么目的從而實現(xiàn)清潔、涂覆等目的。

產(chǎn)生的自由基、正負(fù)離子在電場的持續(xù)加速和高速運動碰撞下與材料表層發(fā)生碰撞，電泳附著力有什么目的破壞分子間原有的分子間鍵，使PI表層斷裂，物質(zhì)形成細(xì)小不規(guī)則，同時產(chǎn)生的氣體變成官能團，繼續(xù)引起物質(zhì)表層的物理和化學(xué)變化。總的來說，整個過程就是氣體不斷電離和不斷復(fù)合的過程，保證了整個反應(yīng)的不斷進行，達到了粗化PI表層和改性PI表層的目的。

通常，電泳附著力劃線測量一種物質(zhì)以三種狀態(tài)存在：固態(tài)、液態(tài)和氣態(tài)，但在某些條件下，還有第四種狀態(tài)，例如：地球大氣中的電離層物質(zhì)。以下物質(zhì)以等離子體狀態(tài)存在：快速運動的電子；中性原子、分子、處于活化狀態(tài)的原子團；電離的原子、分子；中性狀態(tài)。在真空室中，高頻電源在恒壓下產(chǎn)生高能混沌等離子體，等離子體與清洗后的產(chǎn)品表面碰撞。用于清潔目的。在線等離子清洗機適用范圍：在線等離子清洗機通常用于以下應(yīng)用： 1. 等離子表面的活化/清洗。

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電泳附著力有什么目的

腐蝕性氣體等離子體具有優(yōu)良的各向異性，可以滿足刻蝕需要。等離子處理之所以稱為輝光放電處理，是因為它會發(fā)出輝光。 【真空等離子裝置】 等離子處理的機理主要依靠等離子中活性粒子的“活化”，達到去除物體表面污垢的目的。從反應(yīng)機理來看，等離子清洗通常涉及以下幾個過程。

在等離子體中，不同粒子的溫度實際上是不同的。等離子體中存在的離子的溫度以溫度 Ti 表示。電子的溫度用Te表示，原子、分子、原子團等中性粒子的溫度用Tn表示。如果 Te 遠(yuǎn)高于 Ti 或 Tn，即為低壓氣體。氣體的壓力只有幾百帕斯卡。當(dāng)使用直流電壓或高頻電壓作為電場時，電子本身的質(zhì)量非常小，以至于它們傾向于在電池中加速。能夠得到幾個電子伏特的平均值。

1.plasma設(shè)備的物理反應(yīng)機理是將表面上的污染物轟擊到表面，最后由真空泵吸走，以物理反應(yīng)為主的等離子體清洗，其優(yōu)點是不容易形成化學(xué)變化，清洗表面不容易留下氧化物，因此清洗后的表面會有很大的殘留氧化物。2.plasma設(shè)備的化學(xué)變化機制是各種活性顆粒和污染物反應(yīng)形成揮發(fā)性物質(zhì)，然后真空泵吸收揮發(fā)性物質(zhì)。

當(dāng)電子輸運到表面清洗區(qū)域時，與清洗表面吸附的污染物分子發(fā)生碰撞，會促使污染物分子發(fā)生分解而產(chǎn)生活性自由基，這會有利于引發(fā)污染物分子的進一步活化反應(yīng);而且，質(zhì)量很小的電子比離子運動要快得多，因此電子要比離子更早到達物體表面，并使表面帶有負(fù)電荷，從而有利于引發(fā)進一步活化反應(yīng)。 一般情況下，等離子體中自由基的存在數(shù)量比離子多，呈現(xiàn)電中性，壽命比較長，且具有大的能量比較高。

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