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真空等離子清洗機

真空等離子清洗機 150L

對電子材料、金屬材料、塑料、玻璃、橡膠、PTFE等,表面進行清洗,活化改性,去有機物,去氧化物,去顆粒;提升親水性,增強粘接性,附著力,分子活性。


產品詳情


型號

JL-VM150

等離子源系統(tǒng)

頻  率

13.56MHz  射頻

40KHz  中頻

功  率

0~1000W可調

0-5000W可調

             選 配

真空系統(tǒng)

真空腔體

材質

316L不銹鋼、航空鋁(選配)

腔體內部尺寸(MM)

570*550*500(寬*高*深)

腔體容積

150L

極板

17層,水平式,活動可調節(jié)

密封性

軍工級焊接密封

泵組

油泵/干泵+羅茨泵組合(選配)

真空管路

不銹鋼管、不銹鋼波紋管

真空計

1×105~1×10-1Pa

質量流量計

<±1% FS

氣路控制

2-4路處理氣體氣路,氣體流量可調

極限真空

5Pa

適用氣體

流量范圍

0-500SCCM(可調)

工藝氣體

Ar、N?、O?、H?等等(可選)

控制系統(tǒng)

1、PLC 自動控制;

2、7寸觸摸屏,圖形用戶界面;

3、配方程序為 0~99;

4、多級權限操作;

5、圖形化曲線圖自動監(jiān)測工藝參數狀態(tài)及錯誤信息;

6、存儲工藝數據及錯誤信息;

7、報警信息提示及追溯;

8、圖形化界面檢測處理參數;

9、自動、手動操作可切換;

10、維護提示緊急停止按鈕;

11、門感應器和真空互鎖;

12、機器運行信號指示;

13、機器運行結束提示;

外觀參數

外形尺寸(MM)

1100*1750*950(寬*高*深)

重  量

450KG

設施配置

電  力

五線線三相制AC380V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設計規(guī)范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設計規(guī)范》等國標標準相關規(guī)定

壓縮空氣

干燥壓縮空氣CDA

其  它

提供操作手冊、維護手冊、安裝手冊,易損件備件清單.


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