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等離子刻蝕機

等離子刻蝕機 10L

進行介質(zhì)刻蝕、硅刻蝕、金屬刻蝕,實現(xiàn)各項異性刻蝕,保證細小圖形轉(zhuǎn)移后的保真性。

產(chǎn)品詳情


型號

JL-E10

等離子源系統(tǒng)

頻  率

13.56MHz   射頻

功  率

0~300W  可調(diào)

真空系統(tǒng)

真空腔體

材質(zhì)

石英、航空鋁(選配)

腔體內(nèi)部尺寸(MM)

D200*320*(直徑*深)

腔體容積

10L

極板

密封性

軍工級焊接密封

真空泵

雙極泵/干泵(選配)

真空管路

不銹鋼管、不銹鋼波紋管

真空計

電阻硅

氣體流量計

<±1% FS

氣路控制

2路處理氣體氣路,氣體流量可調(diào)

極限真空

3Pa

適用氣體

流量范圍

0-500SCCM(可調(diào))

工藝氣體

Ar、N?O?、H?等等(可選)

控制系統(tǒng)

1、PLC 自動控制;

2、7寸觸摸屏,圖形用戶界面;

3、配方程序為 0~99;

4、多級權(quán)限操作;

5、圖形化曲線圖自動監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài)及錯誤信息;

6、存儲工藝數(shù)據(jù)及錯誤信息;

7、報警信息提示及追溯;

8、圖形化界面檢測處理參數(shù);

9、自動、手動操作可切換;

10、維護提示緊急停止按鈕;

11、門感應(yīng)器和真空互鎖;

12、機器運行信號指示;

13、機器運行結(jié)束提示;

外觀參數(shù)

外形尺寸(MM)

550*1450*650(寬高深)

重  量

200KG

設(shè)施配置

電  力

三線,單相制AC220V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設(shè)計規(guī)范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設(shè)計規(guī)范》等國標標準相關(guān)規(guī)定

壓縮空氣

干燥壓縮空氣CDA

其  它

提供操作手冊、維護手冊、安裝手冊,易損件備件清單.


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