另外，等離子刻蝕的各向異性 決定因素由于低溫在線等離子表面清洗設(shè)備形成的等離子是電中性的，因此在處理過程中不會損壞產(chǎn)品表面。這種等離子處理過程采用 / 等離子清洗機(jī)，也能實(shí)現(xiàn)在線，而且不需要溶劑，因此更加環(huán)保。。

。等離子刻蝕技術(shù)在芯片集成電路制造中的應(yīng)用：等離子刻蝕是芯片集成電路制造中的關(guān)鍵工藝之一，等離子刻蝕的各向異性 決定因素其目的是完整地將掩膜圖形復(fù)制到硅片表面，其范圍涵蓋前端CMOS柵極大小的控制，以及后端金屬鋁的刻蝕及Via和Trench的刻蝕。在今天沒有一個集成電路芯片能在缺乏等離子體刻蝕技術(shù)情況下完成?？涛g設(shè)備的投資在整個芯片廠的設(shè)備投資中約占10%~12%比重，它的工藝水平將直接影響到產(chǎn)品質(zhì)量及生產(chǎn)技術(shù)的先進(jìn)性。

由于等離子體中的電子質(zhì)量很小，等離子刻蝕的各向異性 決定因素所以電子的運(yùn)動是等離子體集體運(yùn)動的根本原因。下面以一維運(yùn)動為例進(jìn)行說明。假設(shè)一個區(qū)域中的電子以相同的速度在 x 方向上移動以產(chǎn)生位移 δ，在該區(qū)域的任一側(cè)都有過多的正電荷和負(fù)電荷，從而產(chǎn)生電場 E。該電場的方向是將電子拉回平衡并恢復(fù)等離子體的電中性。然而，由于慣性，電子不會停在平衡位置，而是迅速返回到超出平衡位置的位移。

用溶劑型膠粘劑粘合時，等離子刻蝕的各向異性 決定因素聚合物的分子鏈分散，難以纏結(jié)，無法獲得很強(qiáng)的粘合強(qiáng)度。 1.3 分子鏈?zhǔn)欠菢O性的PE分子鏈沒有極性基團(tuán)，是一種非極性聚合物。 PP分子結(jié)構(gòu)單元具有-CH3，但PP基本上是一種非極性聚合物，因為-CH3是一個非常弱的極性基團(tuán)。由于其高度對稱的結(jié)構(gòu)，PTFE 等氟塑料也是非極性聚合物。對這些難粘塑料表面的粘合劑吸附只能形成微弱的分散力，但缺乏排列和感應(yīng)力會降低粘合性能。

感應(yīng)耦合等離子刻蝕材料刻蝕加工

PP的分子結(jié)構(gòu)單元是-CH3，但-CH3是極弱的極性基團(tuán)，所以PP基本上是非極性聚合物，而PTFE等氟塑料也是非極性聚合物。粘合劑僅在這些難以粘合的塑料表面上形成較弱的分散，但它們?nèi)狈Ψ较蛐院透袘?yīng)力，導(dǎo)致粘合性能不佳。除結(jié)構(gòu)原因外，材料表面具有較弱的邊界層。弱邊界層源于聚合物本身的低分子量成分、聚合過程中添加的各種添加劑以及處理、儲存和運(yùn)輸過程中產(chǎn)生的雜質(zhì)。

放電方式又包括直流放電、低頻放電高頻放電、微波及感應(yīng)方式等。我們在設(shè)備上應(yīng)用多的是利用13.56MHz高頻電源產(chǎn)生輝光放電，在不同的反應(yīng)室條件中，實(shí)現(xiàn)各種的不同的反應(yīng)機(jī)理，從而產(chǎn)生不同的工藝效果。 等離子表面處理器清洗技術(shù)技術(shù)重要的優(yōu)勢在于它的多功能性，等離子表面處理器可用于多種材料的表面活化、清洗、刻蝕和沉積。。

因此，決定金剛石的成核因素有：基體數(shù)據(jù)：由于成核取決于基體表面的碳飽和程度并達(dá)到形成核心的臨界濃度，[Joflreau, POHaubner, R. and Lux, B., j.Ref. Had Metals 7 (4) ( 198): 186 -194]因此，基體材料的碳分散系數(shù)對成核有重要影響。色散因子越高，就越難以達(dá)到鐵、鎳、鈦等金屬基體成核所需的臨界濃度，并與這些材料直接成核。這非常困難。

材料表面改性的效(果)由一系列的因素決定，這些因素包括材料基底的選取、抗血栓涂料的成分構(gòu)成和改性后的材料是用壽命。動物實(shí)驗的結(jié)果表明，經(jīng)過等離子體表面活(化)改性后，在涂覆一層肝素的聚氨酯導(dǎo)管，在使用30天后，沒有出現(xiàn)蛋白附著的現(xiàn)象；只經(jīng)過等離子體表面改性而無肝素涂層的聚氨酯導(dǎo)管，出現(xiàn)了少量的蛋白附著；而未經(jīng)等離子體表面改性的導(dǎo)液管則出現(xiàn)了嚴(yán)重的血栓。

感應(yīng)耦合等離子刻蝕材料刻蝕加工

不管是哪種基材還是哪種涂層，等離子刻蝕的各向異性 決定因素基本使用等離子清洗機(jī)都要進(jìn)行預(yù)處理，目的是獲得足夠的粘附性，因為總有一些因素會影響粘附性。預(yù)處理至少包含一個或多個下列共組步驟：1、清潔：尤其對碳?xì)浠衔?脫模劑、油類、油脂等)的去除，可采用等離子清洗機(jī)進(jìn)行處理，能將此類物質(zhì)徹底清除，這樣可以提高表面的粘附性。2、等離子活化：為了使涂層完全粘結(jié)，必須使基體表面能大于涂層表面張力。

玻璃作為一種建筑材料已有幾個世紀(jì)的歷史。玻璃具有化學(xué)惰性，感應(yīng)耦合等離子刻蝕材料刻蝕加工在環(huán)境影響下性質(zhì)穩(wěn)定，用常規(guī)清洗烘干處理玻璃基片, 很難徹底清(除)吸附在表面的異物。又由于在運(yùn)輸、搬運(yùn)過程中其表面仍暴露在大氣中, 難免會吸附上環(huán)境氣體、水汽和微塵, 如果不加處理, 會造成膜層與基片結(jié)合力不強(qiáng)、產(chǎn)生針孔和顆粒。利用低溫等離子體處理完后玻璃材料能夠立即進(jìn)入下一步的加工過程。因而，玻璃等離子表面處理是一種穩(wěn)定而又高(效)的工藝過程。