2、低溫等離子發(fā)生器原理 等離子發(fā)生器是通過低壓放電（輝光、電暈、高頻、微波等）產(chǎn)生的電離氣體。在電場的作用下，高能束表面改性技術設備氣體中的自由電子從電場中獲得能量，成為高能電子。這些高能電子與氣體中的分子和原子發(fā)生碰撞。如果電子能量大于分子或原子的激發(fā)能，則會產(chǎn)生激發(fā)分子或原子的自由基。不同能量的離子和來自恒星的輻射，冷等離子體中的活性粒子（可以是化學活性氣體、稀有氣體或元素金屬氣體）的能量一般為CC或其他C鍵。
中性粒子和離子的溫度為102K-103K，高能束表面改性考點對應的電子能量溫度高達105K，稱為“非平衡等離子體”或“冷等離子體”，屬電中性(準中性)。這種氣體產(chǎn)生的自由基和離子具有很高的活性，其能量足以打破幾乎所有的化學鍵，并在任何暴露的表面引起化學反應。等離子體中粒子的能量通常為幾到幾十電子伏，大于聚合物材料的鍵能(幾到幾十電子伏)。它可以完全打破有機大分子的化學鍵，形成新的化學鍵，但遠低于高能放射性射線。
北京告訴你等離子體增強化學氣象沉積的幾個實驗。1.微波等離子體增強化學氣象沉積金剛石薄膜實驗化學氣相沉積(CVD)是幾種氣體（大多數(shù)情況下是兩種）在高溫下發(fā)生熱化學反應形成固體的反應。由于等離子體具有高能量密度和高濃度的活性離子，高能束表面改性技術設備引起常規(guī)化學反應無法或難以實現(xiàn)的物理化學變化。等離子體CVD通過能量激發(fā)將工質(zhì)激發(fā)到等離子體狀態(tài)，引發(fā)化學反應形成固體。
然而，高能束表面改性技術設備電離的氣體不會不一定非得是等離子體，但等離子體和普通氣體都具有滿足氣態(tài)方程等共同特性，但特性完全不同。比氬等離子體和氫等離子體。。等離子清洗機的種類很多，通常分為
