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金徠技術(shù)

ShenZhen City JinLai Technology Co.,Ltd.

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由于RB-SiC材料具有許多優(yōu)良的性能,激光表面改性哪幾種因此對材料表面光學(xué)品質(zhì)指出了更強的標準。SiC的加工方法有電化學(xué)腐蝕、機械加工、超聲加工、激光刻蝕、等離子體刻蝕等。在等離子體發(fā)生器中,化學(xué)離子刻蝕工藝(RIE)、電子器件回旋共振(ECR)和電感耦合等離子體(ICP)都是在其中的一種。ICP刻蝕裝置具有選擇性、各向異性結(jié)構(gòu)簡單、操作方便、易于控制等優(yōu)點,廣泛應(yīng)用于SiC刻蝕應(yīng)用。

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