偏置側(cè)壁過窄會導(dǎo)致高重疊電容，電暈處理及維修的視頻惡化短溝道效應(yīng)；偏置側(cè)壁過寬，重疊電容小，會引起驅(qū)動電流下降。同時，時延會隨著偏置側(cè)壁寬度的增加而減小，但達到一定規(guī)模后會惡化。因此，偏置側(cè)壁的寬度應(yīng)仔細優(yōu)化，以確保優(yōu)良的器件性能。在90nm以前的工藝中，電暈清洗設(shè)備電容耦合電暈(CCP)介質(zhì)刻蝕機主要用于刻蝕偏置側(cè)壁。這類設(shè)備屬于高壓下工作的低密度電暈設(shè)備，刻蝕均勻性和工藝穩(wěn)定性相對較差。

由于電暈輝光放電是由真空紫外光產(chǎn)生的，電暈處理及維修的視頻對刻蝕速率有正向影響，氣體中含有中性粒子、離子和電子。中性粒子具有與溫度和電子能量相對應(yīng)的較高溫度，稱為非平衡電暈和冷電暈。它們主要表現(xiàn)為電中性（準(zhǔn)中性）氣體的高自由基和離子活性，能量足以破壞所有化學(xué)鍵，在物質(zhì)表面會表現(xiàn)出化學(xué)反應(yīng)。通常電暈中粒子的能量是幾十電子伏特。

采用電暈表面活化清洗技術(shù)清洗液晶玻璃表面，電暈處理及維修去除雜質(zhì)顆粒，提高材料表面能，產(chǎn)品成品率提高數(shù)量級。同時，由于射流電暈是電中性的，處理時不會損傷保護膜、ITO膜和偏振濾光片。這個過程可以&ldquo；在線&rdquo；它是在沒有溶劑的情況下進行的，因此更環(huán)保。玻璃的主要材料是二氧化硅，易碎。在實際中，常常需要給玻璃蓋板涂上一層來保護。在生產(chǎn)過程中，需要對保護膜進行電暈活化改性，以提高表面附著力。

羊毛纖維表面形成鱗片，電暈處理及維修的視頻阻礙染料向纖維擴散和在表面吸附。低溫電暈處理使纖維片狀物破壞或消失，可有效提高羊毛織物的可染性和染色深度，加速染色過程。電暈與2D環(huán)氧樹脂處理（先環(huán)氧樹脂處理后電暈處理）相結(jié)合，可提高直接染料的耐洗性和摩擦牢度，色牢度高于固色劑Y處理，可替代固色劑Y。三、火焰電暈機的工作原理當(dāng)氣體處于真空狀態(tài)時，產(chǎn)生電場。

電暈處理及維修

通常情況下，物質(zhì)以固態(tài)、商態(tài)和氣態(tài)三種狀態(tài)存在，但在一些特殊情況下可以以第四種狀態(tài)存在，比如太陽表面的物質(zhì)、地球大氣層電離層的物質(zhì)等。這類物質(zhì)的狀態(tài)稱為電暈態(tài)，也稱為勢物質(zhì)的第四態(tài)。以下物質(zhì)存在于電暈中。高速運動的電子；處于活化狀態(tài)的中性原子、分子和原子團（自由基）；電離原子和分子；分子解離反應(yīng)過程中產(chǎn)生的紫外線；未反應(yīng)的分子、原子等，但物質(zhì)作為一個整體保持電中性。

電暈處理及維修的視頻