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技術(shù)知識(shí)

plasma真空等離子清洗機(jī)的選擇考慮幾個(gè)方面

發(fā)布時(shí)間:2022-04-01 15:41:52 瀏覽數(shù):596

目前隨著高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展,其應(yīng)用范圍日益廣泛,目前已在眾多高新技術(shù)領(lǐng)域中,占據(jù)了關(guān)鍵技術(shù)的地位。plasma等離子清洗機(jī)技術(shù)對(duì)工業(yè)經(jīng)濟(jì)和人類文明的影響挺大的,率先推動(dòng)了電子信息行業(yè),特別是半導(dǎo)體和光電行業(yè)的發(fā)展。由于等離子清洗機(jī)在越來越多的行業(yè)中得到了越來越多的應(yīng)用,如何選擇合適的等離子清洗機(jī)就成了人們關(guān)心的問題,今天我們來談?wù)勅绾芜x擇plasma真空等離子清洗機(jī)。

在plasma真空等離子清洗機(jī)的選擇上,我們主要從以下幾個(gè)方面考慮。

先由腔體尺寸確定等離子清洗機(jī)的型號(hào),腔體尺寸主要從以下兩方面考慮。

1、生產(chǎn)量大?。?/p>

對(duì)于產(chǎn)能要求較高的產(chǎn)品,一定要根據(jù)產(chǎn)能選擇空腔尺寸,空腔尺寸越大,一次加工的產(chǎn)品越多,如果產(chǎn)能要求不高,則優(yōu)先考慮工件尺寸。當(dāng)工件可以放下時(shí),我們可以根據(jù)其生產(chǎn)能力計(jì)算出合適的空腔尺寸。

我們要考慮的第二個(gè)問題,是選擇什么頻率的等離子清洗機(jī)。

頻率選擇:

現(xiàn)在通常使用的頻率有40.5KHz和13.46MHz,20Mhz。40.5kHz的自偏壓為1050V左右,13.46MHz自偏壓為250V左右,20MHz的自偏壓則更低,這三種激發(fā)頻率的機(jī)制不同,40.5kHz發(fā)生的反應(yīng)為物理反應(yīng),13.46MHz發(fā)生的反應(yīng)既有物理反應(yīng)又有化學(xué)反應(yīng),20MHz有物理反應(yīng)但更主要的反應(yīng)為化學(xué)反應(yīng)。

空腔材質(zhì)選擇:

現(xiàn)在常用的腔材料有以下幾種:石英腔、不銹鋼腔、鋁合金腔,這三種腔各有優(yōu)點(diǎn),石英腔溫度較低,而且不容易發(fā)生反應(yīng)。鋁型材的優(yōu)點(diǎn):1、鋁型材密度低,強(qiáng)度高,優(yōu)于鋼,具有較好的機(jī)械加工性能。鋁具有良好的導(dǎo)電、導(dǎo)熱和抗腐蝕性能。材料對(duì)化學(xué)反應(yīng)的兼容性較好,不易產(chǎn)生金屬污染,不會(huì)產(chǎn)生污染等。

真空泵選擇:

到底是選用國(guó)產(chǎn)的,還是進(jìn)口的,是干泵還是油泵,是單級(jí)泵,還是雙極泵,每種真空泵的選擇都可以根據(jù)客戶的實(shí)際需要而定,在此不再贅述。

氣路選擇:

一般真空等離子清洗機(jī)都是兩路氣路,但這不能滿足所有的處理要求,如果需要更多的反應(yīng)氣,則氣道要適當(dāng)增加,這也是根據(jù)用戶的實(shí)際需要,選擇多路氣路。

2、產(chǎn)品物件尺寸:

一般而言,真空等離子清洗機(jī)的分類主要是根據(jù)空腔尺寸和空腔材料來劃分的,選擇空腔尺寸時(shí)首先要考慮的是工件尺寸,也就是說,至少要能夠?qū)⒐ぜ畔氯?,如果工件連放都放不下去,再考慮其他因素也沒有多大意義。


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