型號 | JL-VM150 | |||
等離子源系統(tǒng) | 頻 率 | 13.56MHz 射頻 | 40KHz 中頻 | |
功 率 | 0~1000W可調 | 0-5000W可調 | ||
選 配 | ||||
真空系統(tǒng) | 真空腔體 | 材質 | 316L不銹鋼、航空鋁（選配） | |
腔體內部尺寸（MM） | 500*600*500（寬高深) | |||
腔體容積 | 150L | |||
極板 | 17層，水平式，活動可調節(jié) | |||
密封性 | 軍工級焊接密封 | |||
泵 | 泵組 | 油泵/干泵+羅茨泵組合（選配） | ||
真空管路 | 不銹鋼管、不銹鋼波紋管 | |||
真空計 | 1×105~1×10-1Pa | |||
質量流量計 | ＜±1% FS | |||
氣路控制 | 2-4路處理氣體氣路，氣體流量可調 | |||
極限真空 | 5Pa | |||
適用氣體 | 流量范圍 | 0-500SCCM（可調） | ||
工藝氣體 | Ar、N?、O?、H?等等（可選） | |||
控制系統(tǒng) | 1、PLC 自動控制； | |||
2、7寸觸摸屏,圖形用戶界面； | ||||
3、配方程序為 0~99； | ||||
4、多級權限操作； | ||||
5、圖形化曲線圖自動監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài)及錯誤信息； | ||||
6、存儲工藝數(shù)據(jù)及錯誤信息； | ||||
7、報警信息提示及追溯； | ||||
8、圖形化界面檢測處理參數(shù)； | ||||
9、自動、手動操作可切換； | ||||
10、維護提示緊急停止按鈕； | ||||
11、門感應器和真空互鎖； | ||||
12、機器運行信號指示； | ||||
13、機器運行結束提示； | ||||
外觀參數(shù) | 外形尺寸(MM) | 850*1700*1020(寬高深） | ||
重 量 | 700KG | |||
設施配置 | 電 力 | 五線線三相制AC380V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設計規(guī)范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設計規(guī)范》等國標標準相關規(guī)定 | ||
壓縮空氣 | 干燥壓縮空氣CDA | |||
其 它 | 提供操作手冊、維護手冊、安裝手冊，易損件備件清單. | |||
